本報(bào)訊 記者李佳霖報(bào)道:日前中國(guó)—新加坡蘇州工業(yè)園區(qū)舉辦了一場(chǎng)具有特別意義的MEMS傳感器產(chǎn)品交付會(huì)，蘇州納米科技發(fā)展有限公司將6英寸微納機(jī)電制造（MEMS）中試線的首個(gè)產(chǎn)品正式交付客戶。這意味著國(guó)內(nèi)首條全開(kāi)放、市場(chǎng)化運(yùn)作的6英寸微納機(jī)電制造（MEMS）中試線正式運(yùn)營(yíng)，該中試線填補(bǔ)了中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新鏈空白。

　　當(dāng)前，我國(guó)正處在MEMS產(chǎn)業(yè)格局形成、產(chǎn)業(yè)化加速發(fā)展的時(shí)期。據(jù)了解，蘇州6英寸微納機(jī)電制造（MEMS）中試線由蘇州納米科技發(fā)展有限公司建設(shè)，該中試線是江蘇省“十二五”重大科技平臺(tái)項(xiàng)目。蘇州素以集成電路產(chǎn)業(yè)聞名，一直積極推動(dòng)中試線建設(shè)的蘇州納米科技發(fā)展有限公司負(fù)責(zé)人、蘇州市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)秘書(shū)長(zhǎng)張希軍告訴記者：“我國(guó)中小MEMS企業(yè)發(fā)展面臨很多困難，其中一個(gè)關(guān)鍵的難題是產(chǎn)品的工程化與中試生產(chǎn)，規(guī)模代工廠門(mén)檻較高，高校院所的實(shí)驗(yàn)室工程化能力較弱或開(kāi)放度不夠，產(chǎn)品的工程化中試已成為影響中小MEMS企業(yè)規(guī)模化成長(zhǎng)的瓶頸，而中試平臺(tái)（線）不僅能夠支持中小公司創(chuàng)新，還可以促進(jìn)他們規(guī)?；l(fā)展?！?/p>

　　蘇州6英寸微納機(jī)電制造（MEMS）中試線采用市場(chǎng)化、全開(kāi)放的運(yùn)作模式，主要開(kāi)展MEMS產(chǎn)品工藝研發(fā)、MEMS加工、部分封裝測(cè)試、專(zhuān)利運(yùn)營(yíng)、設(shè)備租賃、超凈場(chǎng)地租賃、工藝技術(shù)培訓(xùn)等十多項(xiàng)專(zhuān)業(yè)服務(wù)，目前已成功導(dǎo)入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產(chǎn)品，產(chǎn)品樣品測(cè)試結(jié)果良好，基本具備了MEMS芯片的開(kāi)發(fā)加工能力。