科技日?qǐng)?bào)訊 （記者張曄）9月底，蘇州納米科技發(fā)展有限公司將6英寸微納機(jī)電制造（MEMS）中試線的首個(gè)產(chǎn)品正式交付客戶，這意味著國內(nèi)首條全開放、市場(chǎng)化運(yùn)作的6英寸微納機(jī)電制造（MEMS）中試線正式運(yùn)營。

　　據(jù)了解，蘇州6英寸微納機(jī)電制造（MEMS）中試線，由蘇州納米科技發(fā)展有限公司建設(shè)，超凈場(chǎng)地、廠務(wù)配套設(shè)施、研發(fā)實(shí)驗(yàn)室、公共服務(wù)等場(chǎng)地共16000平方米，其中超凈工藝場(chǎng)地5200平方米，該中試線是江蘇省“十二五”重大科技平臺(tái)項(xiàng)目，也得到了工信部“工業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)服務(wù)平臺(tái)項(xiàng)目”支持。

　　由于我國MEMS產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新鏈不完善，中小MEMS企業(yè)發(fā)展面臨很多困難，尤其是產(chǎn)品的工程化中試已成為影響中小MEMS企業(yè)規(guī)?；砷L的瓶頸。據(jù)了解，蘇州6英寸微納機(jī)電制造（MEMS）中試線采用市場(chǎng)化、全開放的運(yùn)作模式，主要開展MEMS產(chǎn)品工藝研發(fā)、MEMS加工、部分封裝測(cè)試、超凈場(chǎng)地租賃、工藝技術(shù)培訓(xùn)等十多項(xiàng)專業(yè)服務(wù)，目前已成功導(dǎo)入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產(chǎn)品，基本具備了MEMS芯片的開發(fā)加工能力。

　　“我們的中試線，與科研機(jī)構(gòu)的概念驗(yàn)證、單步工藝能力不同，主要開展中試和小批量生產(chǎn)業(yè)務(wù)，前端與產(chǎn)品樣品銜接，后端與規(guī)模代工廠銜接，是一個(gè)完全工業(yè)級(jí)別的中試線?！碧K州6英寸微納機(jī)電制造（MEMS）中試線運(yùn)營總監(jiān)游家杰告訴記者。蘇州市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)秘書長張希軍一直積極推動(dòng)中試線建設(shè)，他認(rèn)為中試線不僅是中小企業(yè)的創(chuàng)新平臺(tái)，更彌補(bǔ)了中國MEMS產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新鏈的空白。