國產(chǎn)28納米刻蝕機(jī)通過工藝“大考”

　　南方日報訊 （駐京記者/劉曉靜）據(jù)北京市政府新聞辦9日消息，目前，北方微電子公司自主研發(fā)的12英寸28納米等離子硅刻蝕機(jī)，已通過工藝驗證，并獲得客戶訂單。此項技術(shù)的突破令我國集成電路高端裝備技術(shù)與國際水平的差距從2003年的“20年差距”縮到“3年”，標(biāo)志我國集成電路高端裝備加快了追趕國際水平的腳步。

　　據(jù)了解，在北方微電子公司突破28納米刻蝕技術(shù)前，國際上僅美國和日本各有一家企業(yè)能夠提供滿足28納米生產(chǎn)線的成熟設(shè)備。

　　長期以來，高端刻蝕設(shè)備一直是制約我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸，因此，北方微電子將28納米刻蝕設(shè)備推向市場，標(biāo)志著我國在高端集成電路裝備領(lǐng)域，第一次實(shí)現(xiàn)與主流生產(chǎn)線的需求同步。

　　集成電路是一種微型電子器件，又稱芯片，是工業(yè)生產(chǎn)的“心臟”，其在計算機(jī)、消費(fèi)類電子、網(wǎng)絡(luò)通信、汽車電子等幾大領(lǐng)域起著關(guān)鍵作用，是全球主要國家或地區(qū)搶占的戰(zhàn)略制高點(diǎn)，其技術(shù)水平和發(fā)展規(guī)模已成為衡量一個國家產(chǎn)業(yè)競爭力和綜合國力的重要標(biāo)志之一。

　　然而，據(jù)工信部和海關(guān)總署數(shù)據(jù)顯示，我國十余年集成電路進(jìn)口額超過石油，長期居各類進(jìn)口產(chǎn)品之首。國務(wù)院發(fā)展研究中心此前發(fā)布的《二十國集團(tuán)國家創(chuàng)新競爭力黃皮書》同樣指出，中國關(guān)鍵核心技術(shù)對外依賴度高，80%芯片都靠進(jìn)口。我國一年制造11.8億部手機(jī)、3.5億臺計算機(jī)、1.3億臺彩電，都是世界第一，但嵌在其中的芯片專利費(fèi)用卻讓中國企業(yè)淪為國際廠商的打工者。

　　在此背景下，為加快集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，國務(wù)院于今年6月正式發(fā)布《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》，綱要提出到2015年集成電路產(chǎn)業(yè)銷售收入超過3500億元。2020年基本建成技術(shù)先進(jìn)、安全可靠的集成電路產(chǎn)業(yè)體系。

　　此外，據(jù)悉，國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金也將于近期掛牌成立，該基金首批規(guī)模將達(dá)到1200億元，基金由工信部、財政部牽頭發(fā)起，財政部與其他投資主體共同出資組建，主要投資于芯片制造等重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)。

　　對此，中信證券發(fā)布研報表示，隨著《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》的出臺，我國集成電路行業(yè)相對分散且規(guī)模較小的業(yè)態(tài)將改變，國家引導(dǎo)、國有平臺整合、國家補(bǔ)貼扶持將成為行業(yè)主軸，集成電路行業(yè)由于國資的加入將有望形成若干龐大平臺型企業(yè)，而政策的補(bǔ)貼與扶持也將進(jìn)一步驅(qū)動行業(yè)增速提升，并加速產(chǎn)業(yè)的轉(zhuǎn)移進(jìn)程，集成電路行業(yè)有望進(jìn)入長期加速增長通道。